2

Review of heating mechanism in inductively coupled plasma

Année:
2000
Langue:
english
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PDF, 409 KB
english, 2000
8

Nonlocal electron kinetics in a planar inductive helium discharge

Année:
2000
Langue:
english
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PDF, 399 KB
english, 2000
9

Heating-mode transition in the capacitive mode of inductively coupled plasmas

Année:
2002
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english
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english, 2002